Новости

Разработана методика формирования свободновисящих тонкопленочных дифракционных элементов ЭУФ диапазона, работающих в геометрии “на просвет”.

Разработаны и изготовлены абсорбционные фильтры на поддерживающей сетке на диапазон длин волн λ=5-20 нм